敏感元件是可以靈敏地感觸被測(cè)變量并作出呼應(yīng)的元件。如:彈性膜盒能感觸壓力的凹凸而引起形變,形變的程度就是對(duì)壓力凹凸的呼應(yīng),因而,彈性膜盒是一種壓力敏感元件。
傳感器不但應(yīng)該對(duì)被測(cè)量敏感,并且具有把它對(duì)被測(cè)量的呼應(yīng)傳送出去的功用。也就是說(shuō),傳感器不只是一般的敏感元件,它的輸出呼應(yīng)還須***是易于傳送的物理量。例如:上訴的彈性膜盒的輸出呼應(yīng)是形變,是微小的幾何量,不便于向遠(yuǎn)方傳送。如果把膜盒基地的位移轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙輼O板的間隙變化,就成為輸出呼應(yīng)是電容量的壓力傳感器。
因?yàn)殡娦盘?hào)***便于傳送,所以絕大多數(shù)傳感器的輸出是電量的形式,如電壓、電流、電阻、電感、電容、頻率等。
變送器是從傳感器開(kāi)展而來(lái)的,凡能輸出規(guī)范信號(hào)的傳感器就稱(chēng)為變送器。(規(guī)范信號(hào)是物理量的形式和數(shù)值范圍都契合******規(guī)范的信號(hào)。例如直流4~20mA)有了統(tǒng)一的信號(hào)形式和數(shù)值范圍,就便于把各種變送器和別的外表組成檢查系統(tǒng)或調(diào)理系統(tǒng)。
輸出為非規(guī)范信號(hào)的傳感器,須***和特定的外表或裝置配套,才能實(shí)現(xiàn)檢查或調(diào)理功用。為了加強(qiáng)通用性和靈活性,某些傳感器的輸出可以靠變換器把非規(guī)范信號(hào)變換成規(guī)范信號(hào),使之與帶有規(guī)范信號(hào)的輸入電路或接口的外表配套。不同的規(guī)范信號(hào)也可借助于變換器互相變換。例如利用氣/電變換器,能把20~100 kPa的空氣壓力變換成0~10mA的直流電流。
位式效果和接連效果:
位式效果,也稱(chēng)為開(kāi)關(guān)效果,即傳感器在輸入變量整個(gè)變化范圍內(nèi)其輸出相應(yīng)只要兩種狀況,例如空氣狀況的“高”和“低”。
位式效果的傳感器多用于被測(cè)變量的超限報(bào)警、連鎖保護(hù)、順序控制。例如我們的壓力開(kāi)關(guān)。
需要接連檢查或調(diào)理某些變量時(shí),就須***用接連效果的傳感器或變送器。
長(zhǎng)野的變送器中所運(yùn)用的傳感器SS—蒸發(fā)型半導(dǎo)體應(yīng)變片的特色:
(1)相對(duì)于粘貼式和分散式,蒸發(fā)式為新技術(shù)。
(2)其可測(cè)壓力范圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有很好耐用性和穩(wěn)定性。
半導(dǎo)體應(yīng)變片的制作方法:粘貼方法、蒸發(fā)方法、分散方法。
長(zhǎng)野的變送器,如KM31、KM10 等,其半導(dǎo)體應(yīng)變片部分、感應(yīng)元件(不銹鋼隔閡)以及壓力接口部分經(jīng)過(guò)焊接連接成一體,具有很高的穩(wěn)定性和可靠性,抗震性和抗沖擊性良好。
蒸發(fā)式半導(dǎo)體應(yīng)變片的具體制作方法如下:
(1)在不銹鋼隔閡上運(yùn)用CVD等離子沉積一層SiO2絕緣膜
(2)在SiO2絕緣膜上再沉積一層多晶硅。
(3)在多晶硅上運(yùn)用激光蝕刻,應(yīng)變片成型 。
(4)用電子束照射蒸鍍,配上金制電極。
(5)再運(yùn)用CVD等離子沉積一層SiNx保護(hù)膜。
依據(jù)傳感器或變送器的安裝場(chǎng)合有無(wú)易燃易爆氣體及風(fēng)險(xiǎn)程度,選擇隔爆型及本安型。
(1)隔爆型在內(nèi)部電路和周?chē)兹細(xì)怏w之間采取了阻隔措施,允許運(yùn)用在有必定風(fēng)險(xiǎn)性的環(huán)境里 。
(2)本安型即本質(zhì)安全型的簡(jiǎn)稱(chēng),依靠特殊設(shè)計(jì)的電路確保在正常工作及故障(意外短路或斷路)狀況下都不會(huì)引起燃爆事端,可用在非常易燃易爆的場(chǎng)合。